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ZnO2基氧化物半導體透明導電膜的中試和產業化

發布時間:2015-07-29 瀏覽:Loading...
        ZnO2基氧化物半導體透明導電膜材料是以金屬鋅的氧化物ZnO2為基,通過加入Ⅲ-Ⅴ族或ⅡⅥ族元素進行重摻雜,得到高導電性的透明導電氧化物。目前,已研制成功了兩代ZnO2基氧化物半導體透明導電膜。第三代更高性能的Ⅲ型ZnO2基氧化物半導體透明導電膜正在研制中。ZnO2基氧化物半導體透明導電膜起初主要用作顯示器的透明電極。隨著制備技術的進展應用技術趨向多元化。目前,還在繼續探索其新的用途,研究相關的應用技術,不斷擴大其應用領域和市場容量。
 
        第一代的Ⅰ型ZnO2基氧化物半導體透明導電膜,具有高于氧化銦錫(ITO)膜的紅外反射率、與ITO膜相近的可見光透射率、以及略低于ITO膜但為同一數量級的電導率。第二代的Ⅱ型ZnO2基氧化物半導體透明導電膜,除具有全部高于膜的可見光透射率、紅外反射率、電導率外,兼具有高的紫外線吸收率。
 
        新技術采用真空磁控反應濺射技術,由合金靶材直接制備出ZnO2基氧化物半導體透明導電膜。
 
        應用領域:作為透明電極可用于顯示器驅動電極,其中包括液晶顯示器、有機發光顯示器、等離子體顯示器、場致發光顯示器等,光電探測器透明窗口電極,太陽能電池透明電極。作為透明紅外反射節能膜可用于節能塑料貼膜,玻璃上鍍節能膜。作為透明加熱膜可用于防霧和防霜玻璃。作為紫外防護膜可用于專用紫外防護膜。具有廣泛的應用前景。
 
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